에칭 팩터는 에칭 공정 중 선폭이 감소한 결과입니다. 에칭 인자와 선폭 보상 사이의 관계는 에칭 인자가 에칭 공정 동안 감소하는 선폭의 결과라는 것입니다. 에칭 인자는 에칭 공정 중에 에칭액이 아래쪽뿐만 아니라 왼쪽 및 오른쪽 방향으로도 에칭된다는 것을 의미합니다.
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